[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [18a-233-6] MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究

〇中島 英亮¹、Tso-Fu Mark Chang¹、Chun-Yi Chen¹、山根 大輔¹、小西 敏文²、町田 克之¹、年吉 洋³、伊藤 浩之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)

キーワード：微小電気機械システム、金、ヤング率