PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 コメント (0) 10:45 〜 11:00 △ [18a-233-6] MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究 〇中島 英亮1、Tso-Fu Mark Chang1、Chun-Yi Chen1、山根 大輔1、小西 敏文2、町田 克之1、年吉 洋3、伊藤 浩之1、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大) キーワード:微小電気機械システム、金、ヤング率