[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[18a-233-7] 3軸加速度センサのばらつきと測定温度依存性

〇今泉 文伸¹、柳田 幸祐 (1.小山高専)

キーワード：センサ