[18p-136-1~15] 3.7 Laser processing

△ [18p-136-4] Ultrafast and precision laser processing of glass by localized excitation of electrons

〇Yusuke Ito¹, Reina Yoshizaki¹, Naoyuki Miyamoto¹, Keisuke Nagato¹, Naohiko Sugita¹ (1.Univ. Tokyo)

Keywords:Femtosecond laser processing, Glass, Electron density

ガラスのフェムト秒レーザ加工では精密加工と高能率加工の両立が課題となっている．本研究ではフェムト秒レーザがガラス内部に誘起する高電子密度領域に透過波長の長パルスレーザを吸収させることによる，超高速微細加工法を提案する．実験の結果，従来の5000倍の加工速度で微細精密加工を実現した．