2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[18p-136-1~15] 3.7 レーザープロセシング

2018年9月18日(火) 13:45 〜 18:00 136 (3Fロビー)

佐藤 正健(産総研)、辻 剛志(島根大)

14:30 〜 14:45

[18p-136-4] 局所高電子密度化によるガラスの超高速微細精密レーザ加工

伊藤 佑介1、吉﨑 れいな1、宮本 直之1、長藤 圭介1、杉田 直彦1 (1.東大工)

キーワード:フェムト秒レーザ加工、ガラス、電子密度

ガラスのフェムト秒レーザ加工では精密加工と高能率加工の両立が課題となっている.本研究ではフェムト秒レーザがガラス内部に誘起する高電子密度領域に透過波長の長パルスレーザを吸収させることによる,超高速微細加工法を提案する.実験の結果,従来の5000倍の加工速度で微細精密加工を実現した.