[18p-136-1~15] 3.7 Laser processing

△ [18p-136-9] Fine metal line structure fabrication by photolithography using coaxial interference pattern of optical vortices

〇Moritsugu Sakamoto¹, Takuya Hizatsuki¹, Yuki Nakada¹, Kohei Noda¹, Tomoyuki Sasaki¹, Nobuhiro Kawatsuki², Kohei Goto³, Hiroshi Ono¹ (1.Nagaoka Univ. of Tech., 2.Univ. of Hyogo, 3.NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD)

Keywords:optical vortex, Photolithography, Interference

フォトリソグラフィの「感光」の工程に用いられるレーザー描画露光法は、任意の感光パターンを計算機制御で形成できることから生産コストと柔軟性に優れた手法であるが、空間分解能がレーザーの回折限界に制約される為、数10nmスケールの微細加工が容易ではない。本発表ではこの回折限界の制約を克服する為に、光渦同軸干渉光を利用した新しいレーザー描画露光法を提案する。本手法では、回折限界以下の微細金属細線構造をレーザー描画露光法により形成できる。