[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA2-9] 天然膨張黒鉛シート上に作製したAlNの超高温アニール効果

〇山口 晃生¹、井上 崇²、武田 章義²、岡野 寛¹ (1.香川高専、2.東洋炭素)

キーワード：窒化アルミニウム、アニール、天然膨張黒鉛シート