[18p-PA5-1~28] 12.4 有機EL・トランジスタ

[18p-PA5-17] 有機薄膜トランジスタにおける酸素プラズマ処理による閾値電圧シフトの起源

髙橋 一¹、〇北村 雅季¹、服部 吉晃¹、木村 由斉¹ (1.神戸大工)

キーワード：有機トランジスタ、閾値電圧、量子化学計算

我々はSiO₂ゲート絶縁膜に対する酸素プラズマ処理により有機薄膜トランジスタの閾値電圧制御が可能であることを示した。これはSiO₂膜表面付近の過剰酸素による負電荷が原因であると予想しているが，今回，負電荷に関係すると思われるエネルギー準位の存在をX線光電子分光法により確認すると共に，量子化学計算によりその準位を予測したのでそれについて報告する．