[19a-133-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[19a-133-4] Preparation of (Bi, Na) TiO₃ - BaTiO₃ -based thick film by PLD method and their characterization

〇(M2)Miyu Hasegawa¹, Takao Shimizu¹, Yusuke Sato², Wakiko Yamaoka², Mirai Ishida², Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech, 2.TDK corp)

Keywords:Ferroelectric material

(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃は非鉛材料の中でも高い圧電特性を示すことが知られておりの非鉛圧電材料の有望な候補の1つである。
一般に圧電用途を考えた場合、メモリ等に比べて厚い強誘電体膜が必要である。例としてセンサ用途では1 mm以上の膜厚が必要とされている。本研究ではパルスレーザー堆積法を用いて膜厚がマイクロメータオーダーの(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃膜の作製について研究を行った。