[19a-224A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-224A-4] 【注目講演】γ-Al₂O₃/Ga₂O₃超格子の作製

〇加藤 勇次¹、松尾 凛汰朗¹、井村 将隆²、中山 佳子²、竹口 雅樹²、大島 孝仁¹ (1.佐賀大学、2.NIMS)

キーワード：酸化ガリウム、超格子

Ga₂O₃の結晶多形の1つであるγ-Ga₂O₃は，MgAl₂O₄基板上にエピタキシャル安定化が報告されている．また，γ-(Al_xGa_1-x)₂O₃混晶系は，全率固溶が可能であることが報告されている．しかしながら，ヘテロ接合に関する報告がない．そこで初のγ-Al₂O₃/Ga₂O₃超格子の作製を試みた．