[19a-233-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[19a-233-11] ３-５族/Si太陽電池の界面特性改善に向けた パターニング金属中間層の導入

〇(M1)菱田 貴史¹、梁 剣波¹、重川 直輝¹ (1.大阪市大院工)

キーワード：表面活性化接合法、パターニング金属、太陽電池

我々は表面活性化接合法によって３－５族/Si太陽電池の作製に成功しているが、高い界面抵抗が問題となっている。解決策として接合界面にエミッタ電極と同じ形状のパターニング金属と、その周りを絶縁層で覆った金属層を形成し、３－５族/パターニング金属接合を形成することで、界面抵抗改善が見込まれる。本研究はSi/パターニングAl/Si接合を作製し、その電気特性と構造評価を行った。