[19a-234B-1~9] 6.4 薄膜新材料

[19a-234B-6] 自己凝集法によるSnナノ粒子の粒径制御

〇眞柄 健斗¹、若杉 択人¹、中尾 祥一郎¹、福本 通孝¹、廣瀬 靖¹、長谷川 哲也¹ (1.東大院理)

キーワード：薄膜新材料、太陽電池

我々はSn薄膜をガラス基板上に製膜し、この前駆体膜を還元雰囲気で融点以上においてアニールすることによりSnナノ粒子を作成した。前駆体薄膜の製膜条件を最適化することによって、太陽電池応用に重要な1000-3000 nmの範囲で均一性に優れたSnナノ粒子を得ることに成功した。