[19p-131-1~15] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19p-131-9] シリコンウェーハにおけるボロンイオン注入ダメージのCL評価

〇中川 聰子¹、南 俊郎¹、石川 高志¹、西澤 伸一² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.九大)

キーワード：シリコン、カソードルミネッセンス