[19p-234A-1~10] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [19p-234A-9] Preparation of oxide thin film on periodic nanostructured polymer substrates

〇Ken Iwasa¹, Tomoaki Oga¹, Nobuo Tsuchimine², Satoru Kaneko^3,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech., 2.TOSHIMA Manu., 3.KISTECH)

Keywords:thermal nanoimprint, periodic nanostructure, oxide semiconductor thin film

我々は自己組織化酸化物ナノ構造体をモールドとしたポリマー表面への微細構造の転写形成について報告してきた。一方周期的ナノパターンを形成したフレキシブル基板上に堆積させた酸化物半導体薄膜に関する報告は少ない。本研究ではナノ構造を有するポリマー基板の薄膜成長基板への応用を目的とし，ナノパターン表面を有するポリマー基板上酸化物半導体薄膜における基板表面形状が電気特性に与える影響について検討した。