The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018

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Oral presentation

9 Applied Materials Science » 9.5 New functional materials and new phenomena

[19p-437-1~15] 9.5 New functional materials and new phenomena

Wed. Sep 19, 2018 1:45 PM - 6:00 PM 437 (437)

Kouichi Takase(Nihon Univ.), Atsushi Kohno(Fukuoka Univ), Hiroshi Ikuta(Nagoya Univ.)

5:45 PM - 6:00 PM

[19p-437-15] Analysis of metal oxides supported on the mesoporous silica by FIB-TEM method.

Youhei Sekine1, Kazuto Nakamura1 (1.TOSOH Analysis and Research Center Co.,Ltd.)

Keywords:mesoporous silica, TEM, FIB

メソポーラスシリカは規則的な細孔配列を有しており、吸着剤や触媒担体として応用が期待されている。その細孔内にFeやTi酸化物を担持した材料において、透過電子顕微鏡(TEM)による担持状態の解析が求められている。従来から、担体の粉砕試料を用いた担持状態の観察が試みられて来たが、同法では細孔の垂直断面を選択的に調整できないため、細孔内の詳細な解析は困難となっていた。そこで、集束イオンビーム(FIB)を用いて細孔の向きを制御した断面を作製し、走査型透過電子顕微鏡(STEM)にて微細構造解析を試みた。