[19p-437-1~15] 9.5 New functional materials and new phenomena

[19p-437-15] Analysis of metal oxides supported on the mesoporous silica by FIB-TEM method.

〇Youhei Sekine¹, Kazuto Nakamura¹ (1.TOSOH Analysis and Research Center Co.,Ltd.)

Keywords:mesoporous silica, TEM, FIB

メソポーラスシリカは規則的な細孔配列を有しており、吸着剤や触媒担体として応用が期待されている。その細孔内にFeやTi酸化物を担持した材料において、透過電子顕微鏡（TEM）による担持状態の解析が求められている。従来から、担体の粉砕試料を用いた担持状態の観察が試みられて来たが、同法では細孔の垂直断面を選択的に調整できないため、細孔内の詳細な解析は困難となっていた。そこで、集束イオンビーム（FIB）を用いて細孔の向きを制御した断面を作製し、走査型透過電子顕微鏡（STEM）にて微細構造解析を試みた。