[19p-437-1~15] 9.5 新機能材料・新物性

[19p-437-15] FIB-TEM法によるメソポーラスシリカに担持した金属酸化物の解析

〇関根 洋平¹、中村 和人¹ (1.(株)東ソー分析センター)

キーワード：メソポーラスシリカ、透過電子顕微鏡、収束イオンビーム

メソポーラスシリカは規則的な細孔配列を有しており、吸着剤や触媒担体として応用が期待されている。その細孔内にFeやTi酸化物を担持した材料において、透過電子顕微鏡（TEM）による担持状態の解析が求められている。従来から、担体の粉砕試料を用いた担持状態の観察が試みられて来たが、同法では細孔の垂直断面を選択的に調整できないため、細孔内の詳細な解析は困難となっていた。そこで、集束イオンビーム（FIB）を用いて細孔の向きを制御した断面を作製し、走査型透過電子顕微鏡（STEM）にて微細構造解析を試みた。