[19p-PA2-1~6] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[19p-PA2-4] Thermoelectromotive force of Si substrate connected with vibrating piezoelectric device

〇(M1)Kotomu Naito^1,2, Yuhei Suzuki^1,2, Yasuhiro Hayakawa^1,2, Masaru Shimomura¹, Kenji Murakami¹, Hiroya Ikeda^1,2 (1.Shizuoka Univ., 2.RIE, Shizuoka Univ.)

Keywords:thermoelectric power generator, piezoelectric device, electromotive force

エナジーハーベスティングの観点から，我々は圧電素子と熱電素子を積層した新しい発電デバイスの開発を進めている．そのために，Si 基板に圧電素子を接続した試料についての振動発電・熱電発電について調べている．本研究では，n型Si 基板に与える温度差と圧電素子に加える振動が，測定される起電力に与える効果について調べた．