[19p-PA2-1~6] 1.3 新技術・複合新領域

[19p-PA2-4] 振動する圧電素子につながれたSi基板の熱起電力

〇(M1)内藤 琴武^1,2、鈴木 悠平^1,2、早川 泰弘^1,2、下村 勝¹、村上 健司¹、池田 浩也^1,2 (1.静大院工、2.静大電研)

キーワード：熱電発電、圧電素子、起電力

エナジーハーベスティングの観点から，我々は圧電素子と熱電素子を積層した新しい発電デバイスの開発を進めている．そのために，Si 基板に圧電素子を接続した試料についての振動発電・熱電発電について調べている．本研究では，n型Si 基板に与える温度差と圧電素子に加える振動が，測定される起電力に与える効果について調べた．