2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2018年9月19日(水) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)

13:30 〜 15:30

[19p-PB1-15] ZnOナノロッド/glass上へのVO2薄膜堆積と光学特性

福住 達郎1、伊藤 大樹2、児島 永悟2、陳 飛2、星野 寛明1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工、2.東海大工)

キーワード:二酸化バナジウム、酸化亜鉛、ナノロッド

二酸化バナジウム(VO2)は, 68℃付近で絶縁体から金属へと抵抗値の変化を示す.この特性から赤外光透過率の変化を示し,スマートウィンドウへの応用が期待されている.しかし, VO2をスマートウィンドウに応用した場合,可視光透過率が低いことが課題となる.そこで,本研究ではナノロッド化した酸化亜鉛をバッファ層として用いた glass基板上にVOを選択成長させることで,可視光透過率の向上を目指した.