[20a-438-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-438-11] Siネットワーク秩序性に対する製膜前駆体の効果

〇古閑 一憲¹、田中 和真¹、原 尚志¹、石 榴¹、中野 慎也¹、山下 大輔¹、鎌瀧 晋礼¹、板垣 奈穂¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：プラズマCVD、シリコン結合構造