[20a-CE-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[20a-CE-12] 極低オフリーク電流 In-Zn-Oチャネルトランジスタ

〇斉藤 信美¹、澤部 智明¹、片岡 淳司¹、上田 知正¹、手塚 勉¹、池田 圭司¹ (1.東芝メモリ)

キーワード：酸化物半導体