2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[20a-PA5-1~14] 13.3 絶縁膜技術

2018年9月20日(木) 09:30 〜 11:30 PA (イベントホール)

09:30 〜 11:30

[20a-PA5-14] Low-temperature fabrication of Ge MOS capacitors for spintronics and flexible electronics application

〇(D)Weichen Wen1、Keisuke Yamamoto1、Dong Wang1、Hiroshi Nakashima2 (1.IGSES, Kyushu Univ.、2.GIC, Kyushu Univ.)

キーワード:Ge MOS capacitor