[20a-PA6-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [20a-PA6-3] Si ウェーハ表面近傍における金属原子の安定性とそれに与える酸化膜の影響

〇(M1)野々田 典敬¹、末岡 浩治² (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：Siウェーハ、金属、第一原理解析