[20a-PB8-1~9] 6.1 Ferroelectric thin films

[20a-PB8-8] Effect of polarization in the piezoelectric polymer film integrated FET

〇Takuya Okayama¹, Shusaku Matsumoto¹, Jun Takarada², Akio Furukawa¹ (1.Tokyo Univ. of Science, 2.Kansai Univ.)

Keywords:P(VDF-TrFE)

本研究はFETのゲート絶縁膜に圧電体材料を用いた接触センサ機能をもつデバイスの作製を目的としている。本報告では、FET動作において圧電体であるゲート絶縁膜が分極することによるドレイン電流の変化について報告する。