[20a-PB8-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-PB8-8] 圧電高分子膜(P(VDF-TrFE))一体型FETにおける分極の効果

〇岡山 琢哉¹、松本 周作¹、宝田 隼²、古川 昭雄¹ (1.東京理科大理工、2.関西大シス理)

キーワード：P(VDF-TrFE)

本研究はFETのゲート絶縁膜に圧電体材料を用いた接触センサ機能をもつデバイスの作製を目的としている。本報告では、FET動作において圧電体であるゲート絶縁膜が分極することによるドレイン電流の変化について報告する。