[20p-141-1~13] 強誘電HfO₂技術の最新動向　～プロセス・物性からデバイス・回路応用まで～

[20p-141-3] HfO₂薄膜はなぜ強誘電体になるのだろうか？

〇鳥海 明¹、右田 真司² (1.東大院工、2.産総研)

キーワード：強誘電体、HfO2

HfO2薄膜は研究が開始されてから20年弱経過するが、当初まったく報告のなかった強誘電性が今では多くのところで報告されている。一旦、強誘電性が確認されてしまえばどこでもすぐに強誘電性は実現できる。特にドーピングの効果は絶大であるが、それぞれのドーパントの個性と共通性はどこにあるのだろうか。講演ではこれらについて議論する。