[20p-221C-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-221C-1] Al注入した4H-SiCへのレーザ照射によるAl拡散とシート抵抗の調査

〇(M2)武藤 彰吾¹、池田 晃裕²、池上 浩¹、浅野 種正¹ (1.九大シス情、2.崇城大情)

キーワード：炭化珪素、レーザ