[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-11] 同軸型アークプラズマ堆積法により超硬合金上に堆積される超ナノ微結晶ダイヤモンド膜の機械特性への成膜時のバイアス印加効果

〇吉武 剛¹、エギザ モハメド^1,2、村澤 功基^1,3、アリ アリ モハメド⁴、福井 康夫³、権田 英修³、櫻井 正俊³ (1.九州大学総理工、2.カフルシェイフ大、3.オーエスジー（株）、4.アル-アズハル大)

キーワード：ナノダイヤモンド、バイアス印加、同軸型アークプラズマ堆積法

同軸型アークプラズマ堆積法を用いた超ナノ微結晶ダイヤモンド膜の作製を，超硬合金基板に疑似直流負バイアスを印加することにより行った．高密度の正カーボンイオンの堆積により負バイアスは直ちに補償されて無効となるが，堆積速度が約三倍になるなど明確な効果がみられた．