[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-222-14] 加熱処理によるダイヤモンドライクカーボン膜の構造変化

〇杉江 侑哉¹、谷本 壮¹、爲國 公貴¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、角口 公章¹、國次 真輔²、神谷 雅男³、瀧 真⁴ (1.豊橋技科大、2.岡山県工技センター、3.伊藤光学、4.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、耐熱性

本研究では，ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を真空加熱し，それにともなうガス放出および膜構造を分析した。
加熱に伴うガス放出および膜構造変化を昇温脱離質量（TDS）分析装置およびラマン分光分析を用いた。ta-C:H膜のTDS分析の結果，600℃から750℃付近で水素の脱離が見られた。到達温度700℃におけるラマンスペクトルでは，グラファイト化の進行が示唆された。また，膜構造の変化が生じた温度は水素脱離が現れた温度と一致した。