[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-222-16] 導電性ハードコーティングに向けた周期的N-DLC/金属積層膜の作製

〇爲國 公貴¹、針谷 達¹、出貝 敏¹、谷本 壮¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、安井 治之²、金子 智³、國次 真輔⁴、神谷 雅男⁵、瀧 真⁶ (1.豊橋技科大、2.石川工試、3.神奈川県立産総研、4.岡山県工技セ、5.伊藤光学、6.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、積層膜、導電性ハードコーティング

本研究では，低抵抗硬質膜の実現のため，窒素含有DLC膜にタングステン（W）膜を組み合わせた積層膜を作製した。積層膜は50 nmずつ交互に積層し，合計層数は8層とした。球面研磨法を用いて膜を摩耗させ，摩耗痕を光学顕微鏡で観察した。また，ソースメータで膜厚方向の電気抵抗率を算出した。N-DLC / W積層膜は単層膜に比べて基板露出径が大きく，研磨に対する耐摩耗性が低下した。一方で，電気抵抗率は単層膜の約半分程度であった。