[20p-234B-1~17] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

△ [20p-234B-3] Power enhancement of membrane-based Si thermoelectric generator by PnC nanostructures

〇Ryoto Yanagisawa¹, Masahiro Nomura^1,2 (1.IIS Univ. of Tokyo, 2.JST PRESTO)

Keywords:thermoelectrics, phononic crystal, silicon

SOIウエハ上に薄膜型の熱電発電デバイスを作製し、温度差を印加した際の発電量を評価した。デバイスの性能を向上する手法として、電子線リソグラフィを用いて周期300nmのフォノニック結晶ナノ構造を作製し、材料の熱伝導率低減によってデバイス性能がどれだけ向上するか議論する。