[20p-234B-1~17] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [20p-234B-3] 薄膜型シリコン熱電発電デバイスのフォノニック結晶ナノ構造による出力向上

〇柳澤 亮人¹、野村 政宏^1,2 (1.東大生研、2.JSTさきがけ)

キーワード：熱電変換、フォノニック結晶、シリコン

SOIウエハ上に薄膜型の熱電発電デバイスを作製し、温度差を印加した際の発電量を評価した。デバイスの性能を向上する手法として、電子線リソグラフィを用いて周期300nmのフォノニック結晶ナノ構造を作製し、材料の熱伝導率低減によってデバイス性能がどれだけ向上するか議論する。