[20p-438-1~21] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[20p-438-1] Selective Cyclic Etching of Lanthanum Oxide Using Formation and Desorption of Organo-Lanthanum Complex

〇Yoshihide Yamaguchi¹, Kazunori Shinoda¹, Sumiko Fujisaki¹, Yutaka Kouzuma², Kohei Kawamura², Masaru Izawa² (1.Hitachi, Ltd. R&D group, 2.Hitachi High-technologies)

Keywords:Lanthanum Oxide, Dry Etching, Organometallic Complex

High-k膜として期待される酸化ランタンLa₂O₃薄膜の高精度選択ドライエッチングの実現に向けて、有機性材料ガスを吸着させて有機ランタン錯体を生成した後、昇温して錯体を熱脱離させる処理の繰り返しによるサイクルエッチングを試みた。講演では、エッチング選択比およびエッチングレートについて言及する。