[20p-438-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20p-438-17] アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその評価２

〇(PC)市村 進¹、高島 成剛¹、水流 一平²、大久保 大地²、松尾 英明²、後藤 峰男² (1.名古屋産業振興公社、2.中日本炉工業 株式会社)

キーワード：窒化、アクティブスクリーンプラズマ

アクティブスクリーンプラズマ窒化は、島根県産業技術 センター 朝比奈 等、関西大学 西本 等により、研究されてきた。一方、我々は、SKD61 10mm□×5mmt 1個の窒化を試み、窒化するに至った。今回、量産を意識し、大量処理方法を検証したので、報告する。