[20p-438-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20p-438-18] チタン合金へのH₂-N₂プラズマ処理が表面状態に及ぼす影響

〇新村 公基¹、林 仲秋¹、鈴木 俊明^1,2、丹羽 雅昭¹、本橋 光也¹ (1.電機大工、2.日本電子)

キーワード：プラズマ、表面処理、チタン