[20p-438-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [20p-438-20] Ar/水蒸気混合ガスを用いた大気圧プラズマによるポリテトラフルオロエチレンの表面改質

〇(B)谷 雅彦¹、矢島 英樹²、古田 寛¹、八田 章光¹ (1.高知工科大、2.オーク製作所)

キーワード：大気圧プラズマ、表面改質、ポリテトラフルオロエチレン

PTFEは他の材料と接着して使用する場合、親水化する必要がある。親水化処理方法の大気圧プラズマ処理は、環境負荷が小さく、高速処理が期待できる。今回、Ar/水蒸気混合ガスを用いた大気圧プラズマでPTFEシートを処理することにより、親水性の向上が見られた。水蒸気から生じた水素ラジカルがPTFE表面のフッ素を引き抜き、そこに親水性の官能基が生成されたことにより親水化したと考えられる。今後は最適条件の探索と表面分析を進める。