[20p-438-1~21] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

△ [20p-438-21] Influence of plasma gas temperature and gas species on surface treatment using atmospheric pressure plasma

〇Shohei Moriya¹, Yusuke Iijima¹, Yuma Suenaga¹, Shunsuke Watanabe², Hidekazu Miyahara³, Chiaki Sato², Akitoshi Okino¹ (1.Tokyo Tech FIRST, 2.Tokyo Tech MSL, 3.School of Science, Tokyo Univ.)

Keywords:plasma, surface treatment, Hydrophilization

大気圧低温プラズマによる表面処理効果はプラズマ中で生成される活性種が材料表面に作用することで現れ，その活性種の種類や量はプラズマのガス種およびガス温度によって変化することが明らかになっている。本研究では，処理効果の向上や機序解明のために，ガス種とガス温度を制御したプラズマを用いて表面処理効果の評価を行った。