[20p-438-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [20p-438-21] 大気圧プラズマを用いた表面処理におけるプラズマガス温度およびガス種の影響

〇守屋 翔平¹、飯島 勇介¹、末永 祐磨¹、渡邉 俊介²、宮原 秀一³、佐藤 千明²、沖野 晃俊¹ (1.東工大未来研、2.東工大フロンティア研、3.東大理学系研究科)

キーワード：プラズマ、表面処理、親水化

大気圧低温プラズマによる表面処理効果はプラズマ中で生成される活性種が材料表面に作用することで現れ，その活性種の種類や量はプラズマのガス種およびガス温度によって変化することが明らかになっている。本研究では，処理効果の向上や機序解明のために，ガス種とガス温度を制御したプラズマを用いて表面処理効果の評価を行った。