[21a-145-1~9] 13.3 絶縁膜技術

[21a-145-5] 光電子エネルギー損失信号による絶縁酸化膜の誘電関数評価

〇大田 晃生¹、池田 弥央¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大)

キーワード：X線光電子分光法、誘電関数