[21a-234B-1~9] 6.4 Thin films and New materials

[21a-234B-4] Thin film growth of perovskite oxynitrides by Dynamic Aurora PLD

〇Takahiko Kawaguchi¹, Futa Aoshima¹, Naonori Sakamoto¹, Hisao Suzuki¹, Naoki Wakiya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:thin film, PLD, oxynitride

SrTaO₂Nは、エピタキシャル歪みの導入により強誘電特性の発現が報告されている。我々はこれまでに、ダイナミックオーロラPLD法を用いて、プラズマ供給源を用いずに窒化物ターゲットのみから遷移金属窒化物薄膜の作製に成功している。本手法は窒化物のみならず酸窒化物の薄膜成長にも有用であることが期待される。そこで今回、ダイナミックオーロラPLD法を用いて、酸窒化物であるSrTaO₂N薄膜の作製を行ったので報告する。