[21a-234B-1~9] 6.4 薄膜新材料

[21a-234B-4] ダイナミックオーロラPLD法を用いたペロブスカイト型酸窒化物薄膜の作製

〇川口 昂彦¹、青島 楓汰¹、坂元 尚紀¹、鈴木 久男¹、脇谷 尚樹¹ (1.静大院工)

キーワード：薄膜、PLD、酸窒化物

SrTaO₂Nは、エピタキシャル歪みの導入により強誘電特性の発現が報告されている。我々はこれまでに、ダイナミックオーロラPLD法を用いて、プラズマ供給源を用いずに窒化物ターゲットのみから遷移金属窒化物薄膜の作製に成功している。本手法は窒化物のみならず酸窒化物の薄膜成長にも有用であることが期待される。そこで今回、ダイナミックオーロラPLD法を用いて、酸窒化物であるSrTaO₂N薄膜の作製を行ったので報告する。