[21p-135-1~16] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21p-135-1] パルス光伝導測定における誘電分極特性を用いた信頼性評価

〇葛川 翔太郎¹、松山 浩輝¹、阿部 成海¹、熊谷 祐希¹、島津 裕一郎¹、永友 航太郎²、中村 駿佑²、中山 雄介²、小林 一博¹、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄² (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード：評価、絶縁体、非破壊

我々は、絶縁膜の評価法としてパルス光伝導法（PPCM）を提案している。PPCMは、絶縁膜の誘電分極特性を計測し、電気伝導率を算出する手法である。よって本手法では、測定結果が絶縁膜の分極特性により得られたものかを検証する必要がある。本稿では、分極特性を解析することによって、PPCM測定における信頼性の検証を行う方法について報告する。