2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21p-135-1~16] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2018年9月21日(金) 13:00 〜 17:15 135 (135)

上野 智雄(農工大)、嵯峨 幸一郎(ソニー)

13:15 〜 13:30

[21p-135-2] パルス光伝導法による非破壊界面準位密度測定の開発

松山 浩輝1、葛川 翔太郎1、阿部 成海1、熊谷 祐希1、中山 雄介2、中村 駿佑2、永友 航太郎2、小林 一博1、久保田 弘1、橋新 剛1、吉岡 昌雄2 (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード:界面準位