17:00 〜 17:15
[21p-135-16] バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計
キーワード:湿式洗浄、水流、設計
半導体基板材料である大口径シリコンウエハの洗浄工程において、洗浄槽内で生じる流れの循環を抑制するために、洗浄槽壁面の上端部に排出孔を設ける方法を提案した。洗浄槽内の水流を数値計算により把握し、検証したので詳細を報告する。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション
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キーワード:湿式洗浄、水流、設計