[21p-135-1~16] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21p-135-9] シリコン表面上の有機物吸着・脱離に対する温度の影響

〇堀 健太¹、周 一帆¹、羽深 等¹ (1.横国大院理工)

キーワード：有機物、吸着脱離、温度

フタル酸ジエチル(DEP)のシリコン表面への脱離挙動が温度により変化する様子について観察したので、その詳細を報告する。