[21p-145-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[21p-145-11] 三色超構造の各界面が容量-電圧特性に与える影響

〇佐伯 郁弥¹、吉田 晴彦¹、新船 幸二¹、佐藤 真一¹、堀田 育志¹ (1.兵庫県大)

キーワード：界面双極子、MOS、High-k