[21p-233-1~14] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

[21p-233-12] Fabrication of simple multi water quality sensors by Minimal Fab

〇Tomoaki Kageyama^1,2, Sommawan Khumpuang^2,3, Shiro Hara^2,3, Sang-Seok Lee¹ (1.Tottori Univ., 2.AIST, 3.MINIMAL)

Keywords:ISFET, Water Quality Sensor, Minimal Fab

水環境保全のためのモニタリングとして多数のセンサを配置するには，センサ1つ当たりのコストをできるだけ低く抑えることと，頻繁なメンテナンスを必要としないことが要求される．そこで，電解液を必要としない疑似参照電極とISFETを有する水質センサを，少量多品種生産を得意とするミニマルファブにて作製した．また，疑似参照電極での電気分解により電極近傍の状態を操作することでセンサ機能の実現を図った．