13:30 〜 15:30
[21p-PB1-15] アルゴン酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマによるポリイミドアッシングの特性
キーワード：プラズマ、アッシング
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2018年9月21日(金) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)
一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2018年9月21日(金) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)
13:30 〜 15:30
キーワード：プラズマ、アッシング