[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-3] RFスパッタによるポリカーボネートへのAZOとPVDFの薄膜合成

〇菅原 光星¹、大津 康徳¹ (1.佐賀大学)

キーワード：スパッタ、AZO、薄膜